english  | Home | Impressum | Sitemap | KIT

Elektronenstrahlmikroanalyse

Mit der Elektronenstrahlmikroanalyse wird wellenlängendispersiv (WDS) die Elementzusammensetzung von Festkörpern ermittelt. Dazu wird ein Elektronenstrahl auf der Probenoberfläche fokussiert und die von der Probe emittierte charakteristische Röntgenstrahlung erfasst. Über die gemessenen Intensitäten wird daraus die Elementkonzentration bestimmt.

Die Mikrosonde bietet sich besonders für die Analyse leichter Elemente an. So können Elemente ab OZ 4: Beryllium erfasst und quantifiziert werden.

Die Elektronenstrahlmikrosonde ist mit einer Feldemissionskatode und 5 Spektrometern ausgestattet, die mit insgesamt 12 Analysatorkristallen bestückt sind. Außerdem verfügt sie über ein stickstofffreies EDS-System.

Analysebeispiele Mikrosonde

Abb. Mikrosonde JEOL JXA 8530F

Analysemethoden:

  • Qualitative und quantitative Elementzusammensetzung
  • Qualitativer Linescan
  • Elementverteilungsbilder (Maps)

Die Mikrosonde wird für die Untersuchung aller am IMVT hergestellten Proben, wie z.B. Katalysatorbeschichtungen, verwendet. Es werden aber auch innerhalb des KIT und für externe Firmen Werkstoffuntersuchungen durchgeführt.