Mikrosonde JEOL JXA 8530F

Die Mikrosonde ist mit einer Feldemissionskathode sowie fünf Spektrometern (vier mit zwei Analysekristallen, eins mit vier Analysekristallen) ausgestattet. Außerdem verfügt sie über ein peltiergekühltes EDX-System für Übersichtsanalysen.

Die wellendispersive Elementanalyse (WDX) hat eine sehr geringe Energieauflösung von 5 eV. Mittels WDX können Linienüberlagerungen verschiedener Elemente besser getrennt werden als bei EDX, wo die Energieauflösung ca. 130 eV beträgt.

WDX basiert auf vorheriger Kalibriermessung der Spektrometer gegen Element-Standards. Dies bedeutet einen höheren Vorbereitungsaufwand, der durch höhere Genauigkeit der Analyse sowie die Möglichkeit, auch den Gehalt an leichten Elementen (z.B. Sauerstoff und Kohlenstoff) genau zu bestimmen, kompensiert wird. Das leichteste detektierbare Element ist Beryllium (Ordnungszahl 4).

Für die Mikrosonde gibt es Halter für verschiedene Probengrößen. Der Arbeitsabstand ist bei 11 mm fixiert.

Untersucht werden z. B. Fragestellungen zur Verteilung katalytisch aktiver Elemente in Sol-Gel-Beschichtungen. Aufgrund der guten lateralen Auflösung können lokale Schwankungen in der Probenzusammensetzung aufgelöst und gleichzeitig Verteilungsbilder zahlreicher Elemente aufgenommen werden. Auch stöchiometrische Zusammensetzungen, z. B. verschiedene chemische Verbindungen in Mineralien, können analysiert werden.