Rasterelektronenmikroskop JEOL 6300
Abb. 1: Voll digitalisiertes REM JEOL 6300 mit EDX.
Das Rasterelektronenmikroskop JEOL 6300 wird für Routineuntersuchungen aller am Institut anfallenden Fragestellungen und insbesondere für Proben mit größeren Abmessungen geschätzt. Dazu zählt die Charakterisierung von Mikrowerkzeugen (Schneidkantengeometrie und Qualität von Verschleißschutzschichten), damit hergestellter Mikrostrukturen in Polymeren, Metallen und Keramiken, sowie die Morphologie von Membranen, Katalysatoren und Korrosionsschutzschichten.
Mittels BSE-Bildern können lokale Ordnungszahlunterschiede, z. B. in Ausscheidungen, sichtbar gemacht werden.