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Rasterelektronenmikroskop JEOL 6300

Das Rasterelektronenmikroskop JEOL 6300 wird für Routineuntersuchungen aller am IMVT anfallenden Fragestellungen genutzt. Dazu zählt beispielsweise die Charakterisierung von Mikrowerkzeugen (Schneidkantengeometrie und Qualität von Verschleißschutzschichten) sowie damit hergestellter Mikrostrukturen in Polymeren, Metallen und Keramiken, Morphologie bzw. Fehlstellen von Katalysator- und Korrosionsschutzsichten sowie die Einschätzung von Art und Größe des Angriffs nach Korrosionsexperimenten.

Mittels BSE-Bildern kann die lokale Zusammensetzung in Werkstoffen mittels Ordnungszahlkontrast untersucht werden. Zusätzlich verfügt das Gerät über ein EDX-System mit SUTW-Detektorfenster der Fa. EDAX zur Anfertigung von Punktanalysen und Linescans. So können beim Diffusionsschweißen von funktionell beschichteten Blechen entstehende Konzentrationsprofile untersucht werden.

Beispielbilder REM

Abb.: voll digitalisiertes REM JEOL 6300 mit EDX-System von EDAX