Membranintegration
Mit dem Laser können mehrlagige Aufbauten zur Integration dünner Membranen einfach verbunden werden (Abb. 1).
Oft sind für Membranen zusätzliche Stützstrukturen erforderlich, um Prozessdruck und –temperatur zu widerstehen. Verwendet werden z. B. Sintermetallfritten mit angepasster Porosität und Porengröße (Abb. 2). Gegebenenfalls müssen Diffusionssperrschichten aufgebracht werden, um Alterung bzw. Zerstörung der Membran zu verhindern.