Verfahren zur Herstellung eine Mikrostrukturkörpers, insbesondere eines mikrostrukturierten Abformwerkzeugs

Dr. Bier, Hr. Bohn, Dr. Schubert, Hr. Weinbrecht, Hr. Schaller

Kurzbeschreibung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrostrukturkörpers, insbesondere eines mikrostrukturierten Abformwerkzeugs, mit gratfreien Mikrostrukturen, bei dem in die Oberfläche eines zerspanbaren Substrats, insbesondere eines metallischen Substrats, mit Formdiamenten in zwei Bearbeitungsrichtungen verlaufende, sich überkreuzende Nuten oder sich überkreuzende Nuten und Ausnehmungen eingearbeitet werden. Zur Vermeidung der Gratbildung entlang der Kanten der Mikrostrukturen wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass nach der Strukturierung in der ersten Bearbeitungsrichtung das Substrat mit einem fließfähigen, aushärtbaren Kunststoff überschichtet wird, dass nach dem Aushärten des Kunststoffs die Strukturierung in der zweiten Bearbeitungsrichtung erfolgt und danach der restliche Kunststoff mit einem Lösungsmittel entfernt wird.