Mikrosonde JEOL JXA 8530F

Die Mikrosonde ist mit einer Feldemissionskathode sowie fünf Spektrometern (vier mit zwei Analysekristallen, eins mit vier Analysekristallen) ausgestattet. Außerdem verfügt sie über EDX für Übersichtsanalysen. Wellendispersive Elementanalyse (WDX) ist besonders geeignet zur quantitativen Bestimmung leichter Elemente. Da die Messung gegen Elementstandards erfolgt, die die Genauigkeit sehr hoch.Das leichteste detektierbare Element ist Beryllium (Ordnungszahl 4).

Untersucht wird z.B. die Verteilung katalytisch aktiver Elemente in Sol-Gel-Beschichtungen. Aufgrund der guten lateralen Auflösung können lokale Schwankungen in der Probenzusammensetzung aufgelöst und gleichzeitig Verteilungsbilder mehrere Elemente in einem Durchgang gemessen werden.