Das Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) wurde im Juli 2001 gegründet, um neuartige Mikrostrukturen für eine technologische Erneuerung der Verfahrenstechnik nutzbar zu machen. Vorausgegangen waren bahnbrechende Untersuchungen zur Fertigung metallischer Mikrostrukturapparate und deren Einsatz für verfahrenstechnische Anwendungen in der damaligen Hauptabteilung Versuchstechnik und zuvor am Institut für Kernverfahrenstechnik des Forschungszentrums Karlsruhe unter Leitung von Dr. Klaus Schubert seit Ende der 80er Jahre.

Heute ist das IMVT eine der weltweit führenden akademischen Forschungseinrichtungen auf dem Gebiet der Mikroverfahrenstechnik. Ein internationales Team von über 60 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern aus verschiedenen Fachrichtungen befasst sich mit der Konstruktion und Fertigung von Mikrostrukturapparaten, mit Grundlagenuntersuchungen zu Transportvorgängen und chemischen Reaktionen in Mikrostrukturen und mit dem Einsatz von Prototypen in ausgewählten thermischen und chemischen Prozessen. Zusätzlich zu den grundfinanzierten Forschungsvorhaben im Rahmen der Helmholtz-Programme werden Drittmittel-Projekte in Kooperation mit der Industrie sowie mit akademischen Forschungseinrichtungen aus dem In- und Ausland durchgeführt.