Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)

Werkstofftechnologie (MAT)

Die Gruppe Werkstofftechnologie (MAT) leistet Querschnittsaufgaben zur Herstellung mikroverfahrenstechnischer Apparate. Es erfolgen werkstofftechnische und anwendungsspezifische Beratung zu Werkstoffeinsatz und Fertigungsaspekten für andere Arbeitsgruppen.

Je nach spezifischem Anwendungsfall werden neue geeignete Werkstoffe ausgewählt.

Für verschiedene Werkstoffe werden die Fügeparameter für das Diffusionsschweißen, angepasst an das Design, optimiert. Durch spezielle Prozessführung wird ein verformungsarmes bzw. verformungskontrolliertes Fügen mikroverfahrenstechnischer Bauteile sichergestellt.

Mittels Laserschneiden können komplex geformte Blechzuschnitte oder Redesigns in verschiedensten Metallen und Legierungen in kürzester Zeit in-house realisiert werden.

Ein komplett ausgestattetes Metallografielabor erlaubt eine schnelle Präparation von Proben für lichtmikroskopische und Mikrosonden-Untersuchungen. Neben zwei Trennmaschinen für verschieden große Proben stehen eine Schleif- und Poliermaschine sowie Möglichkeiten zum chemischen Ätzen bereit.
Mikroskopische Untersuchungen erfolgen mit verschiedenen Lichtmikroskopen und einem Rasterelektronenmikroskop JEOL JSM 6300.
Eine Feldemissions-Mikrosonde JEOL JXA 8530F mit EDX und fünf Spektrometern erlaubt die hochgenaue Bestimmung der chemischen Zusammensetzungen im Mikrobereich sowie von Elementverteilungen auch für leichte Elemente.

 

Mitarbeiter, spezifische Aufgabenfelder

 
Ausstattung

  • PVD-Beschichtungsanlage für REM-Proben (Kohlenstoff und Platin)
  • Mikrosonde JEOL JXA 8530F mit Feldemissionskathode (fünf Spektrometer, insgesamt 12 Analysekristalle, Elementbestimmung ab Ordnungszahl 4 (Be), LN-freies EDX)
  • Rasterelektronenmikroskop JEOL 6300 mit LN-freiem EDX
  • Stereo- und Lichtmikroskop mit Bilderfassungs- & Archivierungssoftware
  • Laserschweiß- und -schneidmaschine TruLaser Cell 3010 mit 3 kW Scheibenlaser und 500 W Faserlaser
  • Drei verschiedene Diffusionsschweißöfen, Kraftbereich 20kN – 2MN
  • Trennmaschine ATM Brillant 250, Trennleistung bis Probendurchmesser 100 mm
  • Präzisionstrennmaschine ATM Brillant 221
  • Schleif- & Poliergerät ATM Saphir 550
  • Vakuumeinbettvorrichtung
  • Eigenbau-Elektropolieranlage zur Gratentfernung an Mikrostrukturen aus Edelstählen, Nickelbasislegierungen, Kupferbasiswerkstoffen
  • Vakuumtrockenschrank bis 200°C