Elektropolieren
Das Elektropolieren wird zur Gratentfernung an mechanisch hergestellten Mikrostrukturen benutzt. Bei der Mikrozerspanung mit Hartmetallwerkzeugen entsteht aufgrund der Mikroschartigkeit der Schneidkante, im Gegensatz zu Werkzeugen aus monokriostallinem Diamant mit perfekter Schneide, immer Grat an der Oberkante der Strukturen. Der Materialabtrag erfolgt beim Elektropolieren entsprechend der Feldliniendichte. Daher werden Grate bevorzugt abgetragen. Wichtig ist, den Prozess rechtzeitig zu stoppen, bevor die Verrundung der Kanten einsetzt.
Gleichzeitig können durch das Elektropolieren auch die Bearbeitungsspuren egalisiert werden (Abb. 1). Dies ermöglicht eine leichtere Entformung von Mikrostrukturen bei Replikationsverfahren wie Mikroheißprägen oder -spritzgießen.
Gut elektropolierbar sind austenitische Edelstähle, Nickelbasislegierungen sowie einige Kupferlegierungen. Wichtig ist, dass die Werkstoffe ein homogenes, einphasiges Gefüge aufweisen. Metallische Ausscheidungen oder Inhomogenitäten im Mikrometermaßstab führen zu Lokalelementbildung mit örtlich unterschiedlicher Abtragrate. Bleihaltige Messingsorten lassen sich beispielsweise nicht Elektropolieren. ODS-Legierungen mit submikrometergroßen, keramischen Partikeln wie Glidcop Al-60® lassen sich hingegen gut elektropolieren.